特殊TEMホルダー

日立ハイテク製TEM/STEM用特殊ホルダー

高精度な位置決め技術を用いたマニピュレータで特殊仕様にも対応

IMG-OUR
ホルダー内部に搭載したプローブを専用のピエゾコントローラにてXYZ軸の微動制御が可能なホルダーです。
製作実績
引張ホルダー　電圧印加ホルダー　加熱ホルダー

製品仕様

  可動範囲
X軸 Y, Z軸
プローブ粗動機構 +0.5mm,-3.0mm -
微動機構 ±1μm ±7μm
分解能 1nm以下
※対応する装置により、FIB共用機構や200kV/300kV共用機構が搭載可能です。

基本構成

・ホルダー本体
・ホルダー専用収納ケース
・ホルダースタンド
・ピエゾコントローラ
・消耗品類

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