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Products #04
Customized TEM Sample Holders
特殊TEMホルダー
日立ハイテク製
TEM/STEM用特殊ホルダー
高精度な位置決め技術を用いたマニピュレータで特殊仕様にも対応
ホルダー内部に搭載したプローブを専用のピエゾコントローラにてXYZ軸の微動制御が可能なホルダーです。
本ホルダーは、株式会社 日立ハイテク製TEM/STEMに対応した特殊ホルダーです。
【詳細仕様】
可動範囲
X軸
Y, Z軸
プローブ粗動機構
+0.5mm,-3.0mm
-
微動機構
±1μm
±7μm
分解能
1nm以下
※対応する装置により、FIB共用機構や200kV/300kV共用機構が搭載可能です。
【基本構成】
・ホルダー本体
・ホルダー専用収納ケース
・ホルダースタンド
・ピエゾコントローラ
・消耗品類
【お問い合わせ】
本ホルダーに関するお問い合わせは、株式会社三友製作所になります。
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