・ナノオーダーの位置決めが可能
・電子顕微鏡に複数ユニットを搭載して多彩な用途に対応
・光学顕微鏡とシステム化することにより大気中での微細作業に対応可能
SPPA(Super Precision Piezo Actuator)とは、1つの圧電素子にて連続ステップ動作(粗動)、
圧電素子の直接動作(微動)が可能なアクチュエータです。
| 寸法 | 64mm × 55mm × 62mm (W.D.H) |
|---|---|
| 重量 | 約550g |
| ステージ仕様 | ◎粗動
X軸15mm、Y軸15mm、Z軸10mm 粗動分解能 10nm (クローズ制御時) 約500nm以下 (オープン制御時) ◎微動 XYZ軸 1.0μm (分解能1nm以下) |
| 構成 | NMS (1台～) + 制御PC + コントロールボックス1式 |
|---|---|
| 特徴 | リニアエンコーダを内蔵し位置情報によるクローズ制御が可能な為、 全軸フルストロークにおいて10nmオーダーで位置決めが可能。 |
| 構成 | NMS (1台～) + コントロールボックス1式 |
|---|---|
| 特徴 | リニアエンコーダを除いたシンプルな構成。低価格でナノ領域の作業を行いたい場合、 コントロールボックスでNMSのX/Y/Z軸を駆動。 |
