・高い深さ精度
・４インチウエハまで搭載可能
・自動傾き補正
・加工範囲を簡単設定
| 型式 | AP-1000 |
|---|---|
| 装置寸法 |
本体＋除振台：800mm(W) × 600mm(D) × 1,680mm(H) 以内※ コントローラ：540mm(W) × 925mm(D) × 1,450mm(H) 以内※ |
| 装置重量 | 約140kg |
| 駆動軸 | 試料ステージ：X、Y、θ、Tx、Ty スピンドル：Z |
| スピンドル回転数 | 5,000 ～ 80,000rpm |
| 搭載可能サンプル最大サイズ | 100mm(W) × 100mm(D) × 5mm(H) |
| 加工範囲 | □100mm × 100mm |
| 機能 |
モード：切削または研磨加工 スピンドルとサンプルの自動レベリング カメラ画像観察による加工範囲選択 加工液の自動滴下 レシピ登録、呼び出し：256件 |
| 消費電力 | 2,300VA (AC100V±10％、電源周波数：50/60Hz) |
加工するサンプルの傾き調整を自動で行います。
GUI上に表示される装置搭載のカメラ画像で
サンプルの3ヶ所を指定し、サンプルの傾き補正を行います。