▶ 卓上プラズマエッチング装置

半導体故障解析用試料の前処理から
各種プラズマ加工に幅広く対応

▶ ナノマニピュレーションステージ

SEM観察中に試料への
アプローチを可能にする特殊ツール

▶ 特殊TEMホルダー

高精度な位置決め技術を用いたマニピュレータ
特殊仕様にも対応

▶ 卓上精密研磨装置

パッケージ局所開封処理や
局所基板薄片処理にご使用いただけます