Products #02

Customized TEM Sample Holders

特殊TEMホルダー

日立ハイテクノロジーズ製

TEM/STEM用特殊ホルダー


 高精度な位置決め技術を用いたマニピュレータで特殊仕様にも対応

ホルダー内部に搭載したプローブを専用のピエゾコントローラにてXYZ軸の微動制御が可能なホルダーです。
本ホルダーは、株式会社 日立ハイテクノロジーズ製TEM/STEMに対応した特殊ホルダーです。

IMG-OUR
【詳細仕様】
  可動範囲
X軸 Y, Z軸
プローブ粗動機構 +0.5mm,-3.0mm -
微動機構 ±1μm ±7μm
分解能 1nm以下

※対応する装置により、FIB共用機構や200kV/300kV共用機構が搭載可能です。


【基本構成】
・ホルダー本体
・ホルダー専用収納ケース
・ホルダースタンド
・ピエゾコントローラ
・消耗品類


【お問い合わせ】
本ホルダーに関するお問い合わせは、株式会社三友製作所になります。
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