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卓上プラズマエッチング装置

半導体故障解析用試料の前処理から
各種プラズマ加工に幅広く対応




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ナノマニピュレーションステージ

SEM観察中に試料への
アプローチを可能にする特殊ツール




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特殊TEMホルダー

高精度な位置決め技術を用いたマニピュレータ
特殊仕様にも対応




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